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3축 변위 센서

Ultra-Precise 3-Axis Displacement Measurement 

X, Y, Z축과 틸트(Tilt) 방향까지 동시에 측정하여 정밀한 위치 분석이 가능합니다.
비접촉 방식으로 대상물의 손상 없이 정확한 변위 데이터를 획득합니다. 초정밀
분해능으로 미세한 변화까지 민감하게 감지합니다. 반도체, 배터리 등 고정밀
공정 검사에 최적화되어 있습니다. 

  • 3축 동시 측정
  • Tilt로 인한 Z(높이) 데이터 보정
  • 컴팩트 사이즈 (로봇 애플리케이션에 최적)
  • 신호 인터페이스(SI) 지원
  • 텔레센트릭 렌즈 일체형 설계
  • 맞춤형 설계 지원

Main Features

1

3축 동시 측정

조리개나 마스터 없이 반사광 구조(미러, IRCF)만으로 대상물의 3축 동시 측정을 간편하게 수행할 수 있습니다. 
2

Tilt로 인한 Z (높이) 데이터 보정

틸트(Tilt)로 인해 발생할 수 있는 Z(높이)
오차를 자동으로 보정하는 기능을 제공합니다. 

3

컴팩트 사이즈 (애플리케이션 - 로봇) 

경쟁 제품 대비 약 1/3 크기의 컴팩트한 사이즈로, 틸트·위치·높이 3가지 측정 기능을 통합하여 종합적인 검사를 지원합니다. 
4

신호 인터페이스(SI) 지원 

모듈 제어 정보의 동기화를 지원하며, 고객 요구사항에 맞춘 전원 및 통신 시스템 통합을 제공합니다.
5

텔레센트릭 렌즈 일체형 설계 

하이비젼의 텔레센트릭 렌즈 기술로
측정 정밀도와 안정성을 향상시킵니다.

6

맞춤형 설계 지원  

측정 범위, 반복 정밀도, 선형성을 고객
요구사항에 맞춰 맞춤 설계할 수 있습니다.

Specifications

Measurement
Item
HVS Target
Position
Range±700 um
Resolution0.25 um
Repeatability1 um
Linearity2 um
Sampling rate

1k or 0.1k Hz Support

Laser wavelength520 nm
Beam Diameter

Φ 11.0 mm

Beam DivergenceCollimate Beam
Height
Range± 525 um
Resolution0.01 um
Repeatability1 um
Linearity0.2 um
Sampling rate1k or 0.1k Hz support
Beam Spot Diameter0.02 mm
Laser Wavelength830 nm
Working distance4.5
Size
DimensionW357 x H116.5 x D95 mm
Weight7 kg
Area (WxD)0.034 m2

주요 응용 분야

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제품연혁